垂直量程

800μm/1000um

系統分辨力

滿量程時12nm

顯示分辨率

0.001μm

濾波方式

GAUSS、2RC、ISO13565

評定長度Ln

Ln = （1～5）L，  L=0.08mm、0.25mm、0.8mm、2.5mm、8mm

測量參數

ISO全參數（粗糙度R\波紋度W\輪廓度P）

最大行程

40mm

測針滑行效率

啟動運行穩定后測量\

du有“動測聯動"功能，啟動即測量

測量方向

與主機同軸\可選配側向90°

測量參數

R參數：Ra、Rz（ISO）、Rz（JIS）、Rc、Rq、Rt、Rp、Rv、 Rmax、R3z、R3y 、RSk、RS、RSm、 Rmr、Rlo、RHSC、Rpc

W參數：Wa、Wp、Wv、Wt、Wz（ISO）、Wq、Wsk、Wc、WS、 WSm、Wlo、WHSC、Wpc、Wmr(c)、Wz(JIS)

P參數：Pa、Pp、Pv、Pt、Pz（ISO）、Pq、Psk、Pc、PS、 PSm、Plo、PHSC、Ppc、Pmr(c)、Pz(JIS)

Rk參數：Rk、Rvk、Rpk、Mr1、Mr2

最大測量范圍

800μm

最高顯示分辨率

0.000125μm/8μm

濾波方式

RC、PC-RC、GAUSS、ISO13565（Rk專用）

取樣長度

0.008mm、0.25mm、0.8mm、2.5mm、8mm

評定長度

1L-5L（可選），L為取樣長度

最大驅動行程長度

40mm

示值誤差

≤±5％(帶導頭)；≤±10％（無導頭）

示值變動性

≤3％

傳感器針尖材料

天然金剛石

傳感器針尖半徑

2μm

傳感器針尖角度

90°

傳感器測量速度

0.15mm/s、0.5mm/s、1mm/s

傳感器返回速度

2mm/s

內部存儲能力

10組原始數據

外部輸入/輸出接口

RS232、USB

電源

內置鋰離子充電電池/外接電源適配器

顯示方式

320×240點陣液晶（帶背光）

工作環境

溫度：0oC- 40oC，相對濕度：＜90%

重量

2300g

外型尺寸

409×96×98mm